A skenējošais elektronu mikroskops(SEM) ir elektronu mikroskopa veids, ko izmanto mikrobu virsmu skenēšanai, kas izmanto zemas enerģijas kustīgu elektronu staru, lai fokusētu un skenētu paraugu.
Elektronu mikroskopijas attīstība tika saistīta ar optiskās mikroskopijas viļņu garumu neefektivitāti. Salīdzinot ar gaismas mikroskopiem, elektronu mikroskopiem ir īsi vertikālie viļņu garumi, un tāpēc tie nodrošina labāku izšķirtspēju.
Skenējošās elektronu mikroskopijas principi
Atšķirībā no transmisijas elektronu mikroskopijas, kurā tiek izmantoti pārraidītie elektroni, skenējošā elektronu mikroskopija izmanto emitētos elektronus.
Skenējošā elektronu mikroskopija darbojas, pielietojot kinētisko enerģiju, lai radītu signālus par elektronu mijiedarbību. Šie elektroni ir sekundārie elektroni, atpakaļizkliedētie elektroni un izkliedētie atpakaļizkliedētie elektroni, kurus izmanto kristālisko elementu un fotonu novērošanai. Attēla iegūšanai tiek izmantoti sekundārie elektroni un atpakaļizkliedētie elektroni. No parauga emitētajiem sekundārajiem elektroniem ir liela nozīme parauga morfoloģijas un topogrāfijas noteikšanā, savukārt atpakaļizkliedētajiem elektroniem ir kontrasts parauga elementārajā sastāvā.
